日本SEM坂本電機(jī)精密水準(zhǔn)儀的應(yīng)用

什么是精度等級(jí)？

精密水平儀用于檢查制造過(guò)程中的水平度，例如需要高水平標(biāo)準(zhǔn)的精密設(shè)備。通過(guò)測(cè)量液體內(nèi)部氣泡的位置，精密水平儀的位置決定了液位的陡度。水平儀的精度由 JIS 標(biāo)準(zhǔn)嚴(yán)格定義。基本上，水平度是通過(guò)目視檢查的，但也可以使用精密水平儀，通過(guò)傳感器測(cè)量氣泡的位置，并可以獲得數(shù)字信號(hào)的傾斜度。

精密水準(zhǔn)儀的應(yīng)用

精密水準(zhǔn)儀用于需要高精度的制造現(xiàn)場(chǎng)，例如精密儀器、半導(dǎo)體、顯示器等的制造過(guò)程中。在機(jī)床和制造設(shè)備操作前或安裝過(guò)程中使用。它們也可以安裝在每項(xiàng)任務(wù)都需要高度平整的設(shè)備上。選擇精度等級(jí)時(shí)，需要考慮測(cè)量精度、抗振性、是數(shù)字型還是模擬型、是否適合使用的環(huán)境、測(cè)量的難易程度、尺寸等。

精度等級(jí)原理

我們將解釋精密水平儀的測(cè)量原理。精密水準(zhǔn)儀由確保水平度的精確刻度容器和連接容器的精密外殼組成。該容器稍微彎曲并包含一定量的液體和氣體。數(shù)字型的情況下，圖像傳感器內(nèi)置于觀察氣泡的部分。

目視測(cè)量時(shí)，通過(guò)目視檢查容器上刻度上氣泡所在的位置來(lái)確定精密水準(zhǔn)儀所在位置的斜率。如果是數(shù)字型，內(nèi)置控制板通過(guò)處理從傳感器獲得的圖像來(lái)計(jì)算傾斜度，并將其顯示在顯示器上。它還可以將傾斜度作為電信號(hào)傳輸?shù)狡渌蛇B接設(shè)備，執(zhí)行反饋控制，并充當(dāng)傳感器以保持水平度。由于其機(jī)制，在振動(dòng)較大或高溫的環(huán)境中可能無(wú)法正常工作，因此請(qǐng)小心。

精度等級(jí)類型

精密級(jí)的結(jié)構(gòu)和精度由日本工業(yè)標(biāo)準(zhǔn)JIS確定。

精度等級(jí)根據(jù)靈敏度分為三種類型。根據(jù) JIS 標(biāo)準(zhǔn)，水平儀的靈敏度分為三種類型：類型 1（0.02 毫米/米，約 4 秒）、類型 2（0.05 毫米/米，約 10 秒）和類型 3（0.1 毫米/米，約 10 秒）。 20 秒）。靈敏度是氣泡移動(dòng)一格所需的傾斜角度，靈敏度顯示是基于相對(duì)于1米底座的高度。

例如，在類型1的情況下，用1個(gè)刻度每1米的底座檢測(cè)到0.02mm的高度。當(dāng)氣泡使用300mm水平儀（類型1：靈敏度0.02mm/m）移動(dòng)一個(gè)刻度時(shí)，水平儀一端到另一端有6μm的高度差。

靈敏度也以傾斜角度（秒）表示。一秒的角度為每米 4.85 μm。

• 1 級(jí) 0.02mm/m = 角度 4 秒 = 0.00111°

• 類型 2 0.05mm/m = 角度 10 秒 = 0.00277°

• 類型 3 0.1mm/m = 角度 20 秒 = 0.0055°

精度等級(jí)等級(jí)

根據(jù)JIS標(biāo)準(zhǔn)，精度等級(jí)根據(jù)其性能（精度）分為A-級(jí)和B級(jí)。各性能的交集如下。準(zhǔn)確度是測(cè)量?jī)x器所表示的數(shù)值或測(cè)量結(jié)果的整體質(zhì)量，包括準(zhǔn)確度和精密度（變異程度小），是指測(cè)量中的變異程度。進(jìn)行測(cè)量時(shí)，測(cè)量值為±精度，±精度中包含用于測(cè)量目的的真實(shí)值。

根據(jù)JIS，精度如下。

• 全量程精度（1種）：A-級(jí)±0.5刻度，B級(jí)±0.7刻度

• 全量程精度（2級(jí)和3級(jí)）：A-級(jí)±0.3刻度，B級(jí)±0.5刻度

• 相鄰精度（1級(jí)、2級(jí)、3級(jí)）：A-級(jí)0.2級(jí)、B級(jí)0.5級(jí)

A-級(jí)和B級(jí)精度不同，精度值又分為1型、2型、3型、全量程精度、鄰近精度。如精度等級(jí)類型中所述，類型 1、類型 2 和類型 3 是根據(jù)精度等級(jí)的靈敏度而有所不同。全量程精度是指精密水平儀在其整個(gè)量程范圍內(nèi)的精度。相鄰精度是相鄰刻度精度的規(guī)范。