全新HORIBA堀場含氯溴有機化合物柱后反應器

簡要描述：全新HORIBA堀場含氯溴有機化合物柱后反應器
從微流量（5SCCM FS）到大流量（500SLM FS）均可控制
保證高精度
1秒內高速響應
全量程（T98）
尺寸緊湊，

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詳情介紹

全新HORIBA堀場含氯溴有機化合物柱后反應器

在整個流量范圍內（上升、下降、設定值到設定值）響應時間為 100 毫秒或更短

自診斷多重診斷功能

改進的壓力不敏感功能

高流量精度 (±0.8 %SP) 和重復性 (±0.15 %SP)

兼容環境溫度范圍廣（15-60℃）

0.1 至 100% 的寬范圍控制和低流量下的高精度

提供了過程優化和靈活性。

小于500毫秒的高速響應

級別，

尺寸僅為其他公司的 1/20，傳感器截面尺寸僅為 5 厘米。非常適合整合到設備中

該傳感器配備有由16根電極棒組成的9個四極桿部分，具有的結構，盡管其尺寸最小，但仍實現了高靈敏度。

低真空（高壓）操作

當測量總壓力高達 0.5 Pa（對于 2-65 m/z 傳感器）時，無需準備額外的差壓泵系統。

用戶可更換的傳感器

校準過濾器可以在現場輕松更換，無需拆卸設備。

一臺安裝了專用通信

軟件的 PC 通過 RS-485 通信最多可以連接 8 臺設備。它還具有適合設備集成的模擬輸入/輸出。

用戶友好的 Micropole ScannerTM 2 軟件是為專用軟件QL-SG02 開發的，可實現 QL-SG02 的控制、數據采集、可視化和分析。

這是質量流量計專用的監控單元。

業務部門：半導體

產品類別：流體控制

制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.

特征

規格

流量報警輸出功能外部輸出：集電極開路

流量信號輸出：0~5VDC

流量顯示輸出功能

輸入電源：AC100V~240V 50/60Hz 30VA MAX

尺寸：48(W) x 96(H) x 170(D)mm（不包括突出部分）

適用標準安全標準：符合 CE 標志、符合 EMC 指令、符合 FCC 環境兼容性：符合 RoHS 指令

兼容數字/模擬通信模型

顯示單元

這是一個以數字方式顯示流量和壓力信號（0 至 5VDC）的裝置。

業務部門：半導體

產品類別：流體控制

制造商：HORIBA STEC, Co., Ltd.

模型	TE-1100系列
主要系統配置	反應器單元：W100×D105×H350 (mm)，5kg 控制單元：W180×D480×H312 (mm)，15kg *) 不包括 GC 插入部件、突出部或 GC 安裝附件。注）測量需要單獨的GC-FID。請單獨聯系我們并告知所使用的制造商/型號。
運行和使用時的周圍環境溫度和濕度	與GC安裝條件相同溫度：20~30°C 濕度：20~80% RH（無凝露）
可用列	僅毛細管柱（建議內徑 0.53 mm）
公用燃氣連接	空氣：推薦G1級 H 2：99.999%以上供給壓力：兩者均為100～300kPa(G)
空氣流量范圍（氧化反應用）	1~10毫升/分鐘
H2流量范圍（用于還原反應）	1~10毫升/分鐘
測量時允許濃度（柱進樣時）	≤1000ppm CH4 (摩爾/摩爾)
電源	AC100~120V（400VA）或AC220~240V（480VA）50/60Hz