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產(chǎn)品型號(hào)：UTM70B廠商性質(zhì)：經(jīng)銷商更新時(shí)間：2025-11-16訪 問 量：542進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科 標(biāo)準(zhǔn)渦輪分子泵UTM?B系列
進(jìn)口ULVAC愛發(fā)科 標(biāo)準(zhǔn)渦輪分子泵UTM?B系列
使用 安裝組件可無需支架直接搭載
標(biāo)配熱傳感器
熱傳感器可以監(jiān)測(cè)真空泵溫度的異常上升，通知油量的減少和泵的異常。
內(nèi)置油霧過濾器的大容量油箱
大容量油箱（油容量：23~30L）減少油的更換頻率。 油箱內(nèi)置方便更換的盒式濾芯。
被油霧過濾器回收的油會(huì)自動(dòng)回到泵內(nèi)。 油凈化裝置去除混入的雜質(zhì)。
特點(diǎn)
安裝方向自由
安裝方向沒有限制，擴(kuò)展了設(shè)備設(shè)計(jì)的自由度。
搭載控制器
控制器安裝在主體上，有效地減少了布線并減小了排氣系統(tǒng)的尺寸。
高壓縮比?高排氣圧力
高壓縮比和高背壓操作使得輔助泵可以實(shí)現(xiàn)小型化。
三種法蘭可供選擇
VG、ICF、ISO-K三種類型的吸氣口法蘭可供選擇。
清潔真空
在運(yùn)行時(shí)以及泵停止時(shí)，碳?xì)浠衔锏幕亓骱苌佟?/p>
用途
分析設(shè)備、研究開發(fā)設(shè)備、實(shí)驗(yàn)設(shè)備等的主排氣系統(tǒng)
蒸發(fā)設(shè)備、濺射設(shè)備等著排氣系統(tǒng)
H2、He等輕氣體主排氣系統(tǒng)
| 型號(hào) | UTM70B | UTM300B | |||||
| 泵體 | 冷卻方式 | 自然空冷 | 強(qiáng)制空冷 | 自然空冷 | 強(qiáng)制空冷 | ||
| 法蘭口徑 | 吸氣口*1 | VG65, ICF114, ISO063-K | VG100, ICF152, ISO100-K | ||||
| 排氣口 | KF16 | KF16 | |||||
| 排氣速度 (無防護(hù)網(wǎng)時(shí)) | N2 | 70 L/s | 280 L/s | ||||
| He | 60 L/s | 270 L/s | |||||
| H2 | 49 L/s | 220 L/s | |||||
| 到達(dá)壓力 *2 | 烘烤后 | - *3 | 10-8Pa | - *3 | 10-8Pa | ||
| 烘烤 | 10-6Pa | 10-6Pa | 10-6Pa | ||||
| 最大壓縮比 | N2 : >1×109, He : 4×107, H2 : 4×105 | N2 : >1×109, He : 7×106, H2 : 1×105 | |||||
| 最大吸氣口壓力 *4, *5, *6 | N2 | 0.43Pa | 1.1Pa | 0.06Pa | 0.7Pa | ||
| 最大排氣口壓力 *4, *5, *7 | N2 | 300Pa | 900Pa | 100Pa | 1000Pa | ||
| 連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn) 最大流量 *8 | 無排放 氣體 | N2 | 15sccm *9 | 40sccm *9 | 10sccm *10 | 100sccm *10 | |
| 無排放 氣體 | Ar | - | 10sccm *9 | - | 30sccm *10 | ||
| 有排放 氣體 | - | 15sccm *9 | - | 40sccm *10 | |||
| 推薦輔助泵 (10SCCM吸引時(shí) ) *11 | >60L/min | >120L/min | |||||
| 質(zhì)量 | VG：3.3kg, ISF：3.0kg, ISO：5.0kg | 6.0kg / 9.0kg | 6.3kg / 9.3kg | ||||
| 回轉(zhuǎn)數(shù) | 87000rpm | 60000rpm | |||||
| 啟動(dòng)時(shí)間（Up to 80%） (DC24V 背圧:5Pa以下時(shí)） | 1.7 min | 3.5 min | |||||
| 表面處理 *12 | 無 | ||||||
| 安裝方向 | 安裝可能 | ||||||
| 噪音 *13 | <48dB(A) | <50dB(A) | |||||
| 控制器 | 輸入電源 | DC24V ±5%, 120W | DC24V ±5%, 180W | ||||
| 觸點(diǎn)輸入輸出 | REMOTE(D-sub 15針公頭)數(shù)字輸入/輸出4點(diǎn)，模擬輸出1點(diǎn) | ||||||
| 串行通信 | RS-485(D-sub 15針公頭,與REMOTE共用) | ||||||
| LED顯示 | POWER,NORMAL,ALARM | ||||||
| 開關(guān) | START/STOP,RESET | ||||||
| 回轉(zhuǎn)數(shù)可變機(jī)能 | 在泵規(guī)定回轉(zhuǎn)數(shù)25%～100%間、可以變更運(yùn)轉(zhuǎn)回轉(zhuǎn)數(shù)。（設(shè)定為0.1%單位） | ||||||
| 異常檢測(cè) | 報(bào)警，檢測(cè)警告內(nèi)容 | ||||||
| 保護(hù)動(dòng)作 | 報(bào)警，顯示警告內(nèi)容 | ||||||
| 標(biāo)準(zhǔn)附屬品 | 使用說明書（CD-R）、防護(hù)網(wǎng)（僅限VG、ICF。ISO法蘭的已組入墊片）、 墊片（吸氣口用）、防塵帽（吸氣口、排氣口、連接器用）各1個(gè) | ||||||
| 合格標(biāo)準(zhǔn) | CE, TUVus | ||||||
| *1 | 訂購時(shí)請(qǐng)選擇吸氣口法蘭。 |
| *2 | 使用2段式輔助泵時(shí) |
| *3 | 僅限于使用ICF法蘭強(qiáng)制空冷時(shí)才能烘烤。 |
| *4 | 周圍溫度為25°C時(shí)的值。允許值隨周圍溫度變化而變化。 |
| *5 | 不能同時(shí)滿足最大吸氣口壓力和最大排氣口壓力。 |
| *6 | 為可連續(xù)排氣的最大吸氣口壓力。 |
| *7 | 來自進(jìn)氣口的排氣流量為0sccm時(shí)的可連續(xù)運(yùn)行的排氣口的最大壓力。 |
| *8 | 周圍溫度為5～25°C時(shí)的值。排放氣體請(qǐng)使用N2以25sccm進(jìn)行。 |
| *9 | 以60L/min使用輔助泵時(shí)的值。 |
| *10 | 以120L/min使用輔助泵時(shí)的值。 |
| *11 | 氣體量較大時(shí)，在選擇輔助泵時(shí)請(qǐng)保證排氣口的壓力要在最大排氣口壓力以下。 |
| *12 | 請(qǐng)勿流入反應(yīng)性氣體、腐蝕性氣體、含Ga氣體。其他相關(guān)問題請(qǐng)聯(lián)系我們。 |
| *13 | ISO法蘭型。依據(jù)本公司的測(cè)量方法。 |
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